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    [導讀]Infinitesima的革命性Metron3D計量系統可為下一代半導體實現在線3D工藝控制

    英國阿賓頓, Aug. 23, 2022 (GLOBE NEWSWIRE) -- Infinitesima很高興地宣布已完成Metron3D 300mm在線晶圓計量系統的增產投資輪融資,將從2022年第四季度開始支持客戶出貨。

    Metron3D系統采用公司經過驗證的快速探針顯微鏡(RPM)技術以及領先行業供應商的模塊,可實現最大性能和可靠性。該系統設計用于實現高吞吐量、全自動、在線生產工藝控制,以滿足先進半導體工藝對高分辨率3D計量日益增長的需求。

    Infinitesima首席技術官兼創始人Andrew Humphris教授表示:“我們獨特的高速探針技術加上行業對在線3D計量日益增長的需求帶來了強大的客戶參與度,我們對此倍感振奮。

    此輪投資由Wonik Investment Partners領投,該公司是領先的韓國國際企業Wonik旗下的子公司,擁有包括半導體材料和設備在內的廣泛業務經營范圍。 

    Wonik Investment Partners總裁Dong Su Kim表示:“我們認識到Infinitesima的巨大增長機會,其獨特的3D計量技術和經驗豐富的團隊能夠滿足下一代半導體對工藝控制日益增長的挑戰性需求?!?/p>

    Infinitesima董事長兼ARC InterCapital創始人Andrew Dixon表示:“在我們為領先的半導體制造商引入Metron3D之際,我們很高興歡迎Wonik Investment Partners作為共同投資者和合作伙伴?!?/p>

    關于Infinitesima

    Infinitesima Limited是英國一家半導體行業先進計量解決方案的領先企業。公司率先推出了一項創新技術,將原子力顯微技術的三維表面探測能力與高速激光激活、高精度干涉測量系統以及高速探針顯微鏡 (RPM) 相結合,此項技術受到廣泛的專利組合保護。

    公司的RPM技術已由領先的半導體設備公司作為模塊集成在其生產線上,并由領先的半導體制造商使用。

    半導體制造商越來越需要更高分辨率的3D計量解決方案來控制當前光學和電子波束技術無法解決的下一代工藝。Infinitesima推出了采用其RPM專利技術的高速計量系統Metron3D,以滿足客戶對在線亞納米*3D工藝控制不斷增長的需求。

    * 1納米 (nm) 為1米的10-9(單硅原子直徑約為0.2nm)。

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