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    [導讀]本次復享光學承擔的項目,屬于“科學儀器研制開發”專題項目。該項目基于共焦拉曼光譜,發展面向GAA-FET制程檢測的拉曼光譜技術,探索在GAA-FET制備過程中多層納米薄膜的厚度、應力、界面起伏、橫向刻蝕和溝道載流子遷移率等關鍵參數的量測技術,形成一套具有重大產業應用前景的專業高端拉曼光譜設備。


    科學儀器領域項目獲批立項

    9月2日,復享光學承擔的上海市2022年度“科技創新行動計劃”科學儀器領域項目《堆疊環柵晶體管(GAA-FET)制程量測拉曼光譜儀》獲批立項。

    面向先進制程,復享光學承擔大型科學儀器研制項目

    本次復享光學承擔的項目,屬于“科學儀器研制開發”專題項目。該項目基于共焦拉曼光譜,發展面向GAA-FET制程檢測的拉曼光譜技術,探索在GAA-FET制備過程中多層納米薄膜的厚度、應力、界面起伏、橫向刻蝕和溝道載流子遷移率等關鍵參數的量測技術,形成一套具有重大產業應用前景的專業高端拉曼光譜設備。

    通常來講,大型科學儀器研發制造,要求承擔單位具備堅實可靠的研發積累、制造工藝和應用經驗。同時,大型科學儀器的研制還涉及多學科領域的大量基礎研究,要求承擔單位從技術原理出發,探索前沿科學,深入創新源頭,才能形成原始技術突破,研制出創新型、突破型的高端科學儀器。

    復享光學作為深度光譜技術創導者,始終回歸光與物質的相互作用原理,十年專注光譜技術的研發與應用,在光譜模組產品的研制基礎之上,先后向市場推出多款大型集成光譜系統,融合光學智能算法,解決了多項科研和先進制造中的復雜關鍵問題,是創新型光譜儀器的可靠的研制者。

    在拉曼技術研發和應用領域,復享光學是國內較早研究拉曼技術的光學企業,已研發并向市場推出拉曼系列產品,涵蓋拉曼檢測模塊和拉曼檢測系統。尤其公司共焦光譜產品線中的gora系列顯微共焦拉曼光譜系統,融合拉曼光譜技術與共焦技術,實現衍射極限下的空間分辨率,獲取微觀層面的物質成分和結構信息,是復享光學拉曼光譜技術的代表產品。復享光學共焦光譜產品線已申請數十項相關專利,獲得上海市高新技術轉化項目“顯微共焦光譜系統”的認證,已服務于國內外眾多高校和科研院所,獲得良好的用戶反饋。

    立足行業尖端,復享光學建立先進制造裝備世界品牌

    科學儀器既是前沿科學研究的重要工具,也是集成電路等先進制造裝備的重要組成部分。該項目面向集成電路下一代的3nm 及以下制程,基于拉曼光譜技術,開發針對GAA-FET制備過程多層納米薄膜的量測設備,以保障芯片的最終良率,具有重大產業應用前景。

    “一代制程,一代工藝,一代設備”,新一代GAA-FET制程即將打開新的全球技術格局,也將帶來產業布局新的變化。隨著制程不斷推進,芯片制備過程中的量測工序大幅增加,精密量測技術對于良率控制的重要性已經不言而喻。其中,占據全部檢測技術約70%的光學量測,是集成電路量測的關鍵,面臨著巨大的機遇和挑戰。

    為響應半導體集成電路產業需求,需要建立多層次的研發平臺。為此,復享光學成立了對接產業需求的“上海微納制程智能檢測工程技術研究中心”,并與復旦大學共同建立了致力于研究微納制造前沿共性關鍵技術的“光檢測與光集成校企聯合研究中心”。

    當前正處于GAA-FET技術規范形成的前期,復享光學攜兩個中心,主動參與全球產業技術的交流和競爭,抓住國內產業發展創造的市場空間和國際技術新老迭代的窗口機遇,通過深入產業供應鏈和承擔重大政府專項,致力于在GAA-FET微納制程量測領域取得重大突破,推動集成電路國產設備的跨越式發展。

    同時,復享光學將以此為契機發展智能光譜技術,以深度算法為驅動,持續精研拉曼光譜、顯微光譜、相位光譜、角分辨光譜等分析技術,通過以科研應用為基礎和出發點,以產業需求為目標和落腳點,形成具有自主知識產權的高端科學檢測儀器系列產品,參與全球技術迭代,建立光學領域的先進制造世界品牌。


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